Drahtbonder

Gerätebeschreibung

Der Drahtbonder kann für das Aluminium- oder Golddrahtbonden konfiguriert werden. Ball-Bonden kann auch mit Golddraht durchgeführt werden. Das Stereomikroskop hat einen einstellbaren Fokus und Zoom und ist mit einer CCD-Kamera ausgestattet. Der beheizte Tisch erlaubt Substrattemperaturen bis zu 250° C. Bondparameter in dieser Maschine (für Bonds 1 und 2) sind:

• Ultraschallleistung (analog der "Leistung" bei K&S- und MEI-Bondern) in beliebigen Einheiten
• Zeit - Dauer der Ultraschallanwendung in Millisekunden
• Kraft - Abwärtskraft, die durch das Bondwerkzeug während des Bondens ausgeübt wird, in Gramm