Laser-TTA

Gerätebeschreibung

Zur Bestimmung der thermischen Charakteristik bzw. Impedanz von Leistungshalbleitern wird über das herkömmliche Thermisch Transient Analyse Verfahren (TTA) das Device under Test (DUT) über eine elektrische Anregung zunächst in eine Heiz- und anschließend in eine Abkühlphase gebracht. Die Messung des Temperaturverhaltens beim Abkühlvorgang des Leistungshalbleitermoduls erlaubt Rückschlüsse auf die thermischen Widerstände und Kapazitäten des Modulschichtaufbaus. Je geringer die verschiedenen thermischen Kapazitäten der Modulschichten jedoch sind, desto kritischer wird der Umschaltvorgang von der Heiz- auf die Messphase. Hierbei stellen bei der elektrischen Anregung die maximal mögliche Schaltgeschwindigkeit, das Rausch- und ein etwaiges Schwingverhalten Problematiken dar. Ziel des Laser-TTA Messaufbaus ist es, die thermische Impedanz des Moduls statt elektrisch über einen auf das DUT fokussierten Laserstrahl anzuregen. Dieses Vorgehen soll einen möglichst schnellen Übergang zwischen der Heiz- und Messphase ermöglichen, welcher Rückschlüsse auf das thermische Impedanzverhalten selbst sehr dünner Schichten des Moduls zulassen kann.

Geräteinformationen